低温等离子体处理废气的原理为：当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿产生包括电子、各种离子、原子、和自由基在内的混合体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染分子在极短时间内发生分解，以达到降解污染物的目的。

外加电场的作用下，介质放电产生的大量高能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变为无毒无害或低毒低害物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在1eV~10eV，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。

而尾气中氧气和水气在高能电子作用下发生下列反应O2+eO-+O3+O2-;H2O+eHO-+H废气因子解离的碎片粒子与氧气及O-+O3+O2-发生较为复杂的化学反应，降解为CO2和H2O等。

低温等离子技术，属于干法处理，不需要任何吸附剂、催化剂及其他任何助燃燃料，只需采用220V或380V交流电，经振荡升压装置获得高频脉冲电场，产生高能量电子，轰击分解废气中的有机分子、有毒的气体分子。具有操作简单、运行费用低、治理效率高、技术先进等特点。

投资成本低

操作使用简单

废气处理效率高